INFICON 质谱仪Transpector APX系列_供应产品

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张经理女士

经营范围：INFICON质谱仪，INFICON气体分析仪，INFICON传感器

主营行业：

仪器/仪表/测量传感器/编码器 / 传感器

所在地区：瑞士

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INFICON 质谱仪Transpector APX系列

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产品：	浏览次数：2INFICON 质谱仪Transpector APX系列
品牌：	INFICON
单价：	面议
最小起订量：
供货总量：
发货期限：	自买家付款之日起 3 天内发货
有效期至：	长期有效
最后更新：	2024-04-10 15:16

详细信息

　　INFICON Transpector APX 仍然是市场**的半导体和显示器工艺监控残余气体分析仪 (RGA)。INFICON 知道半导体和显示器客户有独特的需求，Transpector APX 的*新版本可以提供更大的灵活性来满足特定的应用要求，同时保持行业**的测量速度和灵敏度。Transpector APX 是 ALD、CVD、PVD 和蚀刻等半导体工艺的理想 RGA 工艺监视器。

　　下*代 Transpector APX 多压入口系统的设计能够耐受容易产生颗粒或涂层的化学工艺，例如 ALD 或 PECVD。这样可以进行连续监控，以捕获所有关键流程步骤的数据点。此外，HexBlock 入口配有 INFICON 专有涂层，可抵抗腐蚀性气体，这对于腔室清洁端点监测应用至关重要。

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