瑞士INFICON佳武旗舰店

　　INFICON Guardian 非常适合光伏模块、OLED、光伏、超导薄膜和 MBE 制造等应用。

　　Guardian 共沉积系统基于电子碰撞发射光谱 (EIES)。使用 EIES，沉积的材料被热离子发射器激发，从而产生光子。产生的光穿过滤光片到达光电倍增管 (PMT) 检测器，该检测器测量通过波长的发射强度。然后，INFICON Guardian 控制器会生成*个信号来控制该材料的来源。带有适当滤光片的附加检测器可用于多种材料。