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INFICON 光学气体分析仪HP100系列
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产品: 浏览次数:12INFICON 光学气体分析仪HP100系列 
品牌: INFICON
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最后更新: 2024-04-10 15:06
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详细信息
    INFICON Quantus HP100 气体分析仪基于自等离子体发射光谱 (SPOES) 技术,旨在在半导体制造过程中提供实时泄漏检测、终点检测和过程监控。Quantus HP100 具有出色的灵敏度、紧凑的外形,无需昂贵的泵即可提供宽广的工作压力范围,使其非常适合大多数半导体工具的过程监控和保护。
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